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芯片的开发需要过程。
从沙子做成可使用的芯片,第一步就是就是要把制备半导体级别的硅锭。
这个时代普遍采用8英寸(200mm)直径的晶圆,各大主流厂家正在攻关更大直径的12英寸的相关技术。
在科院半导体材料研究所,科研人员正紧张的注视仪器中显示的各项数据。
王岸然也感受到气氛的凝重,半导体晶圆研究是华芯科技第一批和科院合作的重大项目之一。
目前正在开展的6英寸(150mm)直径的晶圆拉伸,采用的技术也是国际上最为成熟的cz直拉法。
“加热!”
“目前坩埚炉温度1350度。”
“安置籽晶准备,3,2,1,开始。”
“接触!”
随着钱俊杰一声令下,固定在旋转卡盘上的籽晶按照设计好的速度缓缓旋转。
坩埚炉中,伴随这籽晶的提升,在底部的单晶硅开始生长。
数据可以通过安装在卡盘上的应力传感器得知。
均匀生长的硅锭,应力应该不断增加,在监视器上的显示应该是一条线性的直线。
这条直线在允许的范围之内,可以初步断定单晶的生长均匀,不过要确认硅锭的质量,还需要一系列的复杂测试,但现在就卡在了第一步。
就在各参测人员大气都不敢出一声的时候,报警器上突然红光闪烁。
“快,停止提升!”
操作人员赶紧按下控制按钮,卡盘的提升立刻停止。
不过显然已经晚了,钱俊杰看着监视器上,应力直线的线头猛然下探,这预示着单晶硅的生生长已经断裂,实验失败。
钱俊杰摇摇头,对身旁一名三四十岁的工作人员说道:“清理坩埚,准备试验数据分析。”
安排完善后的事,钱俊杰走到王岸然身边,说道:“王总,很遗憾,又失败了,你要是感兴趣的话,请到会议室,我当面向你汇报工作。”
事实上,钱俊杰并不喜欢和商人打交道,不过对王岸然也没办法,人家先后投入了八百万给半导体材料研究所,不管怎么着,也得给人家一个交代。
这点人情世故,钱俊杰还是懂的。
而王岸然看到一头花白的老科学家钱教授,一本正经的喊自己王总,还要向自己汇报工作,早窘的不知所然。
“钱教授,叫我岸然就可以了,我是卢伟教授带的学生,是过来学习的。”
钱俊杰对卢伟不陌生,事实上科学家的圈子很窄,钱俊杰一般的时候不在实验室,那就在图书馆,如果两个地方都不在的话,那肯定在睡觉。
和卢伟熟悉,自然也是因为同在一个行业,有所往来。
“卢伟现在当上院长了吗?”
王岸然面色一愣,摇了摇头。
“我听说卢伟现在阔了啊,有人一下子捐助了2000万给他搞研究,妈的,真走了狗屎运。”
王岸然有些惊讶,德高望重的老前辈也会爆粗口。
“不会是你捐助的吧!”
“……”
会议室,钱教授拿着一摞子试验材料。
“岸然,你也看到了,刚才的实验失败了。”
“钱教授,我也是理工生,知道试验哪有不失败的,至少我们也不是没有收获,多尝试,总会找到正确的方法。”
钱俊杰摇摇头,说道:“王总,不是我哭穷,这样的实验进行不了几次了,这次连着我们工作人员的津贴都搭上去了,没钱了。”
王岸然一听乐了,在票子面前,钱教授也不得不低头啊,话里话外的意思不就想着自己投钱吗?没问题啊。
“钱教授,这样一次试验要花多少钱?”
钱俊杰递上一个清单,对王岸然说道:“主要就是材料费,刚才你也看到了,拉升用的籽晶是用特殊的化学气相法制造的,我们国家还没办法生产,都是从日本进口的,这一块籽晶就得60万,再加上一些化学耗材,整个试验过程的花费就得80万以上。”
对于这个年代的中国来说,八十万可不是小数目。
这还是攻克人家淘汰了的6英寸硅锭生产。
钱教授又说道:“王总,你也看到了,这只是拉伸试验,还没有进行到定向和适量的n型或者p型掺杂,虽然我们科研人员已经做了大量的前期工作,不过预估,这样的试验至少要进行一百多次。”
王岸然眉头微皱,一百多次,也就八千多万,自己出这笔钱没有问题,可这笔钱总得有个说法。
“你想要什么说法?”
“华芯科技要求得到六成知识产权的权益,剩下的四成由科院和研究团队分配。”
“这个我做不了主,但我想,科院应该会同意的……”
对王岸然来说,六英寸的晶圆技术也是鸡肋般的存在,国外已经大部分淘汰了,现在是八英寸的天下,再过几年,intel将全面转向12英寸晶圆的生产。
要知道越大直径的晶圆,意味着在同一块晶片上,可以集成的芯片越多,生产成本越是低廉,这是趋势。
现在国内的状况是,科研单位普遍经费不足,在相应基础科目上的研究自然跟不上,华芯科技要做的就是在企业和研究机构之间架一道桥梁,产研结合也是未来的方向。
“岸然,这八千万也不是一次要投这么多,说不定五十次就能获得成功!”
王岸然说道:“钱教授,不光是6英寸,8英寸和12英寸你们也要进行攻关,这个您把预算报给我,我亲自给你审批。”
回到公司后,王岸然细细列了一个表格,从晶圆生产,掺杂,半导体材料,高纯度酸碱溶剂,薄膜工艺,晶片处理,污染控制,烘培刻蚀,金属沉淀,离子注入等十四个种类,八十多个研究课题。
其中或以资助研究,或以合作开发,又或以华芯科技为主导,寻求高校或者研究机构技术合作。
看着纸上密密麻麻的标注,王岸然自言自语。
“八十多个课题,即便有十分之一成功了,也可以给国家的半导体行业的发展凭添一份助力吧。”
美国的半导体行业为什么那么兴盛,其中原因之一,就是在美国,有非常成熟的半导体研发环境。
而在中国,你就是买一块晶片研究,都难度极大。
这就是区别。
华芯科技一枝独秀改变不了国家的现状,王岸然以为,在给基础研究加把力的同时,也是时候,建立一个半导体企业孵化基地了。
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